三氯氫硅又稱硅氯仿，在常溫常壓下為具有刺激性氯化氫氣味易流動易揮發的無色透明液體。在空氣中極易燃燒，在-18℃以下也有著火的危險，遇明火則強烈燃燒，燃燒時發出紅色火焰和白色煙，生成SiO2．三氯氫硅是甲硅烷的三氯代物。為一種易流動的無色液體，密度1.34克/厘米3 ；能溶于苯、氯仿和二硫化碳。
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